Table Of ContentMikroelektronik
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in Osterreich
II~
Berichte der
Inforrnationstagung ME 85
Springer-Verlag
Wien New York
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© 1985 by Springer-Verlag/Wien
Mit 246 Abbildungen
ISBN-13:978-3-211-81893-0 e-ISBN-13:978-3-7091-8821-7
DOl: 10.1007/978-3-7091-8821-7
Den Ehrenschutz der Tagung haben ubernornmen:
Univ.-Doz. Dr. Heinz FISCHER,
Bundesminister fur Wissenschaft und Forschung
Dr. Heinrich UBLEIS,
Bundesminister fur Bauten und Technik
Dr. Kurt STEYRER,
Bundesminister fur Gesundheit und Umweltschutz
Dkfm. Ferdinand LACINA,
Bundesminister fur Offentliche Wirtschaft und Verkehr
Dr. Helmut ZILK,
Burgermeister der Stadt Wien
VORWORT
Die Veranstalter der Informationstagung Mikroelektronik legen
heuer erstmals die gesammelten Kurzvortrage und Postermittei
lungen in Buchform vor. Die Kurzfassungen der Hau~tvortrage
finden sich in der Nummer 10 der Zeitschrift E und M, die zur
Tagung erscheint. Den ungekUrzten Hauptvortragen ist nach der
Tagung ein Sonderheft der gleichen Zeitschrift gewidmet. Die
Herausgabe der Tagungsunterlagen in Buchform ist mit ein Zei
chen fUr die gestiegene Bedeutung der Mikroelektroniktagung,
deren Ziel, vereinfachend gesagt, in der Forderung des Infor
mationsaustausches zwischen Forschung und Wirtschaft liegt.
Die vom 15. bis 17. Oktober 1985 stattfindende Informationsta
gung "Mikroelektronik 1985" ist die sechste Informationstagung
dieser Art. Die erste ME fand am 23. und 24. Oktober 1975
statt. Die Ausweitung des Umfangs dieser Veranstaltung wird
deutlich, wenn man die Zahlen der vortrage und der Teilnehmer
vergleicht: waren es 1975 sieben Haupt- und 27 Kurzvortrage zu
sechs Themenkreisen bei knapp 300 registrierten Teilnehmern, so
werden heuer dreizehn Haupt- und 51 Kurzvortrage in Form von
tibersichten Uber Stand und Zukunft der Mikroelektronik sowie
von Berichten Uber konkrete Applikationen, Methoden und Ent
wicklungen an erwartete 500 Teilnehmer herangetragen. DarUber
hinaus sind in einer Posterschau 29 Poster ausgestel1t.
Wurde die ME 75 noch von drei Veranstaltern, namlich dem AuBen
institut der Technischen Universitat Wien, der Bundesversuchs
und Forschungsanstalt Arsenal und der Osterreichischen Studien
gesellschaft fUr Atomenergie getragen, so kam 1981 das AuBenin
stitut der TechnischenUniversitat Graz hinzu. Als Mitveran
stalt7r fungieren heuer die Bundesministerien fUr Wissenschaft
und Forschung, fUr Bauten und Technik, fUr Gesundheit und
Umweltschutz sowie das fUr Offentliche Wirtschaft und Verkehr.
An der ME 85 werden elf Themenkreise behandelt, an deren Spitze
jeweils ein oder zwei Hauptvortrage gestel1t sind. Der bisher
stets gehaltene Einleitungsvortrag zu einem sozioOkonomischen
Thema wurde heuer erstmals zu einem eigenen Themenkreis,
-Mikroelektronik. Mensch und Gesellschaft- erweitert. Dieser
VIII
Themenkreis steht unter der Leitung von Prof. Dipl.-Ing. F.
Margulies; die zugeordneten Hauptvortrage werden gehalten vop.
Mag. H. Vogler, Gewerkschaft der privatangestellten, Wien, zum
Thema "Mikroelektronik; Mi/3brauch macht Angst - Mi tbestimmung
schafft Vertrauen" und von Prof. Dr. F. Wojda, Technische
Universitat Wien, tiber "Theorie und Praxis partizipativer Ge
staltung von Arbeitssystemen".
Der wieder vorkommende Themenkreis "Halbleitertechnologie" wird
abermals von Prof. Dr. H. Potzl, Technische Universi tat Wien,
betreut, der als Hauptvortragenden Prof. Dr.-Ing. H. Ryssel,
Universitat Erlangen, mit dem Vortragstitel "Neue Technologien
ftir zuktinftige hochstintegrierte Schaltkreise" gewinnen konnte.
Der wichtige Themenkreis "ZuverlKssigkeit von Bauteilen und
Systemen", der heuer zum vierten Mal vorkommt, steht unter der
Agide von Rat Dipl.-Ing. J. Hartberger und Rat Dipl.-Ing. J.
Sandera, beide Bundesversuchs- und Forschungsanstalt Arsenal,
Wien. Der Hauptvortrag zum Zuverlassigkeitsthemenkreis stammt
von Dr.lng. W. Ehrenberger, Fachhochschule Fulda, und ist dem
Thema "Softwarezuverlassigkei t - Erstellung und Nachweis" ge
widmet.
Abermals, allerdings in erweiterter Form, kommt der Themenkreis
"Sensoren, Interfaces und Me13wertverarbeitung" zur Behandlung.
Er wird geleitet von Prof. Dr. H. Leopold, Technische Universi
tat Graz, und der Hauptvortrag wird von Prof. Dr. H. Ziegler,
Universitat Paderborn, tiber "Digitale Sensoren", ein sehr ak
tuelles Thema, gehalten.
Der Themenkreis "Optoelektronik und optische Nachrichtentech
nik" wird von Prof. Dr. W. Leeb, Technische Universitat Wi en
und Prof. Dr. H. Thim, Universitat Linz, betreut. Der Hauptvor
trag zu diesem Themenkreis kommt von Prof. Dr. G. Schiffner,
Ruhr-Universitat, Bochum, und widmet sich der "Anwendung von
Glasfasern in der optischen Nachrichtentechnik und Sensorik".
Das Thema "Datennetze" der ME 83 wurde erwei tert zum Themen
kreis "Nachrichtentechnik und Datenkommunikation" und steht
unter der Leitung von Prof. Dr. E. Bonek und Prof. Dr. R.
Patzelt, beide Technische Universitat Wien. Der Hauptvortrag
wird von Dr. W.E. Herold, Standard Elektrik Lorenz AG, Stutt
gart, tiber das Thema "Mikroelektronik in integrierten Kom
munikationsnetzen" gehalten. In einem "kurzen Hauptvortrag"
referiert Dr. H. Pichler, Technische Universitat Wien, tiber
"Zweidrahtnetze".
IX
Es schlieJ3t sich der Themenkreis "Anwendung im Kraftfahrzeug"
an, betreut von Prof. Dr. H. Leopold, Technische Universitat
Graz, der als Hauptvortragenden Dr. O. Holzinger, Robert Bosch
GmbH, stuttgart, gewinnen konnte. Holzinger tragt tiber "Elek
tronik im Kraftfahrzeug" vor.
Der folgende Themenkreis wurde benannt "Anwendung in der Ver
kehrstechnik- und wird von Hofrat Dr. A. Sethy, Bundesversuchs
und Forschungsanstalt Arsenal, Wien, geleitet. Er konnte Dr. R.
Genser, Bundesministerium ftir Offentliche Wirtschaft und Ver
kehr, gewinnen, der tiber "Die Entwicklung der Mikroelektronik
und die Zukunft der Verkehrstechnik" vortragt.
Das Thema "Anwendung in der Medizin-, seit vie len Jahren einer
der Schwerpunkte der Tagung, wird wieder von Prof. Dr. S.
Schuy, Technische Universitat Graz, betreut; den diesbeztigli
chen Hauptvortrag halt Prof. Dr. M. Schaldach, Universitat
Erlangen, tiber "Stand und Entwicklungstendenzen der Mikroelek
tronik in der biomedizinischen Technik".
Ein neuer Themenkreis ist "Anwendung in K1ein- und Mitte1be
triebenu unter der Agide von Prof. Dipl.-Ing. F .. Margulies und
Prof. Dr. R. Patzelt, Technische Universitat Wien. Den Haupt
vortrag hiezu halt Ing. E. Schacherl von der Firma Krippner und
Kletzmaier, Linz, tiber "Anwendung der Mikroelektronik ftir die
Automatisierung von Prozessen in Klein- und Mittelbetrieben".
Der neue Themenkreis -Digita1e Signa1verarbeitung" unter der
Patronanz von Prof. Dr. W. Mecklenbrauker, Technische Universi
tat Wien, ist eine wichtige Erweiterung der Tagung. Dr. J.B.H.
Peek, Philips Forschungslaboratorium, Eindhoven, tragt hiezu
tiber "Digitale Signalverarbeitung: Wann und Warum?" vor.
Die Mikroelektroniktagung ware undenkbar ohne die Untersttitzung
durch effentliche Stellen, private Institutionen und Firmen.
Von Anfang an leisteten das Bundesministerium ftir Wissenschaft
und Forschung und das Bundesministerium ftir Bauten und Technik
den greJ3ten finanziellen Beitrag. Seit zwei Jahren gewahrt auch
das Bundesministerium ftir Gesundheit und Umweltschutz eine
namhafte Untersttitzung. Weitere finanzielle Beitrage leisten
der Fachverband der Elektroindustrie, der Osterreichische
Arbeiterkammertag, die Osterreichische Industrieverwaltungs-AG
und der Osterreichische Verband ftir Elektrotechnik. Untersttit
zung mit Sachleistungen erfahrt die Tagung durch die Stadt
Wien, die Osterreichischen Bundesbahnen, die Osterreichische
x
Philips Bauelemente Industrie, die Rank Xerox Austria, die
Arbeitsgemeinschaft fUr Fachausstellungen und, last but not
least, die Wiener Messen und Congre£ Ges.m.b.H. Diesen Stellen
und Firmen sei hier der aufrichtigste Dank der veranstaltenden
Fachinstitutionen ausgesprochen.
Zu danken ist aber auch der gro£en Zahl der Mitarbeiter der
Technischen Universitaten Wien und Graz, der Bundesversuchs
und Forschungsanstalt Arsenal und des Forschungszentrums Sei
bersdorf, die mit personlichem Engagement, haufi-g unter
Opferung ihrer Privatzeit und ehrenamtlich, all die im Endef
fekt kaum sichtbaren, zum Gelingen einer Tagung dieser Gro£en
ordnung aber unentbehrlichen, Arbeiten erledigt haben.
Wien, im Herbst 1985
F. OismUller
Tagungssekretar der ME 85
INHALTSVERZEICHNIS
Wissenschaftliches Redaktionskomitee XIX
Organisationskomitee • • • • • • • • XXI
1. Themenkreis Mikroelektronik, Mensch und Gesellschaft
Die Gesamtverantwortung des Managements bei komplexen
Veranderungsprozessen durch Mikroelektronikeinsatz.
W. TRITREMMEL, Vereinigung Osterreichischer Indu-
strieller, Wien 3
computer in der gewerkschaftlichen Bildungsarbeit.
K. PROKOP, OGB-Bildungs- und Arbeitswissenschaft-
liches Referat, Wi en 9
Einsatz eines Bildschirmdialogs fur Pensionsanderungen.
H •. WOLLNER, Pensionsversicherungsanstalt der Ange-
stellten, Wien 14
Einsatz der Mikroelektronik zur Dberwindung des
Taylorismus.
P. KOLM, Gewerkschaft der Privatangestellten 19
Industrieroboter - Wirtschaftlichke.i,.t und Zukunft.
G. MEYER, Osterreichisches Forschungszentrum Seibers
dorf, Bereich Fertigungstechnik • • • • • • • • • • 27
Speicherprogrammierbare-, freiprogrammierbare- und
Mikrocomputersteuerungen in der Ingenieurausbildung
im Fachgebiet Steuerungstechnik.
H. SLIWA, Hohere Technische Bundes-Lehr- und Ver-
suchsanstalt Innsbruck 32
2. Themenkreis Halbleit ertechnologie
Zweidimensionale ProzeBsimulation.
P. PICHLER, W. JUNGLING, S. SELBERHERR, E. GUERRERO,
H. POTZL, Institut fur Allgemeine Elektrotechnik und
Elektronik, TU Wien ••••• 41
Richtlinien fur das Parallelschalten von Leistungs
halbleitern.
J. THOMA, H. PICHLER, Institut fur Allgemeine Elek-
trotechnik und Elektronik, TU Wien • • • • • • • • • • • • • • 47
XII
Automatisierte Entflechtung zur Hertellung von ein
lagig verdrahteten Hybridschaltkreisen.
N. KERO, H. BINNER, Institut fUr Allgemeine Elektro-
technik und Elektronik, TU Wien • • • • • • • • • • • 53
Ther.mische Stabilisierung von MeBschaltungen in Dick
schicht-Hybrid-Technik.
P. DULLENKOPF, Arbeitsgruppe Schaltungstechnik,
Ruhr-Universitat Bochum ••••• 59
Ein 5500 Gatter CMOS-Standardzellen-IS fUr digitale
Nebenstellenanlagen.
E. OITZL; Entwicklungszentrum fUr Mikroelekronik
Gesellschaft m.b.H., Villach • • • • • • •• • • • • • • • 65
N-Well CMOS Technology for High Performance
LSI-VLSI Applications.
T. ATHANAS, Semcotec GmbH, Wien • • • • • • • • • • • • • • • 72
Gate-Arrays in HCMOS Technologie.
W. KAUSEL, S. SMEDLEY, B. RAUSCHER, Semcotec GmbH, Wien •••• 78
2k Gate Array fUr Robotersteuerungen.
M. HAAS, Enwicklungszentrum fUr Mikroelektronik Ge-
sellschaft m.b.H., Villach • • • • • • • • • • • • • • • • • • 84
PLL fUr anwendungsspezifische IS.
D. DRAXELMAYR, Enwicklungszentrum fUr Mikroelektronik
Gesellschaft m.b.H., Villach ••••••••••••••••• 91
3. Themenkreis Zuverliissigkeit von Bauteilen und Systemen
Definitionen der Umwelt in der Zuverlassigkeitstechnik.
J.-P. FRAUCHE, Centre Suisse d Essais des Composants
Electroniques ASE-CSEE, Neuchatel • • • • • • • • • 99
Planare Bauelemente fUr den zuverlassigen und wirt
schaftlichen Aufbau von elektronischen Geraten.
O. HINTRINGER, siemens AG MUnchen • • • • • • • • • • • • • • 105
Qualitatssicherung bei oberflachenmontierbaren Kera
mik-Vielschichtkondensatoren.
K. SEINER, Siemens Bauelemente OHG, Deutschlandsberg • • • • III
Working with the CECC System.
D.W. SMITH, STC Components LTD., Harlow, Essex ••••••• 113
