Metingen aan pompeigenschappen

46 Pages·2005·1.12 MB·Dutch

by  Gerrad P. Beukema

Metingen aan pompeigenschappen
Cursus Vacuümtechniek 1
Nog even iets van de vorige keer
(cid:132) Problem: The gas load of the 5% model was measured
to be a rate of 5.10-4 torr-L/sec at room temperature.
Assume the gas load of the pixel detector is 20 times
the measured rate for the 5% model. This would make
the gas load for the detector 0.01 torr-L/sec. TTwwoo
ccrryyooppaanneellss will be used as a pprriimmaarryy wwaatteerr ppuummpp for
the pixel vacuum vessel. Assuming the entire source of
the gas load is outgassing of water (a conservative
assumption), hhooww tthhiicckk ccaann tthhee iiccee bbuuiilldd uupp on the
cryopanel before the panel must be regenerated?
Cursus Vacuümtechniek 2
Even oude kennis ophalen
(cid:132) Definitie pompsnelheid
(cid:132) Pomp aan vat via buis
(cid:132) Begrip effectieve pompsnelheid
Cursus Vacuümtechniek 3
Een paar vragen
C
Cursus Vacuümtechniek 4
Nog een paar vragen
V
V
Cursus Vacuümtechniek 5
Invuloefening
Cursus Vacuümtechniek 6
Meten van bereikbare einddruk
(cid:132) einddrukken bepaald
door de ccoommpprreessssiiee--
vveerrhhoouuddiinngg van de
pomp
(cid:132) "einddrukken" bepaald
2 door ddeessoorrppttiiee vanuit
de vacuümruimte
ssyysstteeeemmeeiiggeennsscchhaapp!!!!
1
1. aansluiting gasinlaat
2. aansluiting
3 drukmeetinstrument
3. aansluiting pomp
Cursus Vacuümtechniek 7
Pomptijd van 105 - 103 Pa
dp
S is ccoonnssttaanntt: −V = Sp
dt
enkel-log-grafiek: rechte lijn, S wordt gegeven door de helling
Δ(ln p) Δ(log p)
S = V = 2,3V
Δt Δt
V p V p
pomptijd: t = ln( 0 ) = 2,3 log( 0 )
S p S p
Cursus Vacuümtechniek 8
Pomptijd in aanwezigheid van lek/desorptie
dp
−V + Q = Sp
∞ ∞
dt
met Q = Sp is de gasstroom na "oneindig lang " pompen
∞ ∞
V p − p V p − p
0 ∞ 0 ∞
t = ln( ) = 2,3 log( )
S p − p∞ S p − p∞
Q ⎡Pa.m3s−1 ⎤
lek
als Q >> Q dan: p =
⎢ ⎥
lek desorptie
S ⎢ m3s−1 ⎥
⎣ ⎦
als Q >> Q dan:
desorptie lek
dp
−t /τ
−V + Q + Q e = Sp
lek 0
dt
Q
0
( p − p ) −
V 0 ∞
S −V / τ
t = ln
S Q
0 −t /τ
( p − p ) − [ ]e
∞
S −V / τ
Cursus Vacuümtechniek 9
p(t) kromme
S t S
− t Q − − t
0
p = ( p − p )e V + [ ][ e τ − e V ] + p
0 ∞ ∞
S −V / τ
voor p << p en V/τ << S dan:
∞ 0
S t S
− t Q − − t
0
p − p = p e V + [ e τ − e V ]
∞ 0
S
S t
− t −
e V << e τ
als pomptijd ligt tussen 1 en 10 uur dan
t
Q −
0
en: p = e τ + p
∞
S
Cursus Vacuümtechniek 10