Estudo da formação de interface para obtenção de filmes de DLC altamente aderentes sobre aço ...

100 Pages·2014·3.32 MB·Portuguese

sid.inpe.br/mtc-m19/2014/02.06.19.42-TDI
ESTUDO DA FORMAÇÃO DE INTERFACE PARA
OBTENÇÃO DE FILMES DE DLC ALTAMENTE
ADERENTES SOBRE AÇO
Patrícia Cristiane Santana da Silva
Dissertação de Mestrado do Curso
de Pós-Graduação em Engenharia
e Tecnologia Espaciais/Ciência e
Tecnologia de Materiais e Sensores,
orientada pelo Dr. Vladimir Jesus
Trava-Airoldi, aprovada em 25 de
fevereiro de 2014.
URL do documento original:
<http://urlib.net/8JMKD3MGP7W/3FMPLGL>
INPE
São José dos Campos
2014
PUBLICADO POR:
Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais - INPE
Gabinete do Diretor (GB)
Serviço de Informação e Documentação (SID)
Caixa Postal 515 - CEP 12.245-970
São José dos Campos - SP - Brasil
Tel.:[phone]
Fax: [phone]
E-mail: [email protected]
CONSELHO DE EDITORAÇÃO E PRESERVAÇÃO DA PRODUÇÃO
INTELECTUAL DO INPE (RE/DIR-204):
Presidente:
Marciana Leite Ribeiro - Serviço de Informação e Documentação (SID)
Membros:
Dr. Antonio Fernando Bertachini de Almeida Prado - Coordenação Engenharia e
Tecnologia Espacial (ETE)
Dra Inez Staciarini Batista - Coordenação Ciências Espaciais e Atmosféricas (CEA)
Dr. Gerald Jean Francis Banon - Coordenação Observação da Terra (OBT)
Dr. Germano de Souza Kienbaum - Centro de Tecnologias Especiais (CTE)
Dr. Manoel Alonso Gan - Centro de Previsão de Tempo e Estudos Climáticos
(CPT)
Dra Maria do Carmo de Andrade Nono - Conselho de Pós-Graduação
Dr. Plínio Carlos Alvalá - Centro de Ciência do Sistema Terrestre (CST)
BIBLIOTECA DIGITAL:
Dr. Gerald Jean Francis Banon - Coordenação de Observação da Terra (OBT)
REVISÃO E NORMALIZAÇÃO DOCUMENTÁRIA:
Marciana Leite Ribeiro - Serviço de Informação e Documentação (SID)
Yolanda Ribeiro da Silva Souza - Serviço de Informação e Documentação (SID)
EDITORAÇÃO ELETRÔNICA:
Maria Tereza Smith de Brito - Serviço de Informação e Documentação (SID)
André Luis Dias Fernandes - Serviço de Informação e Documentação (SID)
sid.inpe.br/mtc-m19/2014/02.06.19.42-TDI
ESTUDO DA FORMAÇÃO DE INTERFACE PARA
OBTENÇÃO DE FILMES DE DLC ALTAMENTE
ADERENTES SOBRE AÇO
Patrícia Cristiane Santana da Silva
Dissertação de Mestrado do Curso
de Pós-Graduação em Engenharia
e Tecnologia Espaciais/Ciência e
Tecnologia de Materiais e Sensores,
orientada pelo Dr. Vladimir Jesus
Trava-Airoldi, aprovada em 25 de
fevereiro de 2014.
URL do documento original:
<http://urlib.net/8JMKD3MGP7W/3FMPLGL>
INPE
São José dos Campos
2014
Dados Internacionais de Catalogação na Publicação (CIP)
Silva, Patrícia Cristiane Santana da.
Si38e Estudo da formação de interface para obtenção de filmes de
DLC altamente aderentes sobre aço / Patrícia Cristiane Santana
da Silva. – São José dos Campos : INPE, 2014.
xxiv + 74 p. ; (sid.inpe.br/mtc-m19/2014/02.06.19.42-TDI)
Dissertação (Mestrado em Engenharia e Tecnologia Espaci-
ais/Ciência e Tecnologia de Materiais e Sensores) – Instituto Na-
cional de Pesquisas Espaciais, São José dos Campos, 2014.
Orientador : Dr. Vladimir Jesus Trava-Airoldi.
1. DLC. 2. PECVD. 3. aderência. 4. filmes finos. 5. tela ativa.
I.Título.
CDU 621.793
Esta obra foi licenciada sob uma Licença Creative Commons Atribuição-NãoComercial 3.0 Não
Adaptada.
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 3.0 Unported Li-
cense.
ii

iv
“Whether you think you can, or you think you can't, you're right.”
Henry Ford.
v
vi
A meus pais.
vii
viii